原文標(biāo)準(zhǔn)名稱：半導(dǎo)體硅單晶生產(chǎn)用高純石英坩堝
英文標(biāo)準(zhǔn)名稱：
中文主題詞：高純石英坩堝
英文主題詞：
標(biāo)準(zhǔn)號：T/ICMTIA CM0038—2024
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)：現(xiàn)行
國別：中國
發(fā)布日期：2024-04-25
實(shí)施或試行日期：2024-06-01
發(fā)布單位：中關(guān)村集成電路材料產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新聯(lián)盟
起草單位：浙江美晶新材料股份有限公司、寧夏鑫晶新材料科技有限公司、鄭州合晶硅材料有限公司、山東有研半導(dǎo)體材料有限公司、中環(huán)領(lǐng)先半導(dǎo)體材料有限公司
標(biāo)準(zhǔn)類型：產(chǎn)品
標(biāo)準(zhǔn)水平：國內(nèi)先進(jìn)
中國標(biāo)準(zhǔn)分類號：
國際標(biāo)準(zhǔn)分類號：29.045
頁數(shù)：0
正文語種：中文
內(nèi)容簡介本文件規(guī)定了半導(dǎo)體硅單晶生產(chǎn)用高純石英坩堝的術(shù)語和定義、規(guī)格尺寸、技術(shù)要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則、標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸和儲(chǔ)存技術(shù)內(nèi)容。 本文件適用于半導(dǎo)體硅單晶生產(chǎn)用高純石英坩堝。
所需耐材幣：0
